تەپسىلىي كونترول تىزىملىكى: يېڭى گوللاندىيە ئۆزەك بەلگىلىمىلىرى قايسى DUV تىپلىرىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ؟

«تىبكو خەۋەرلىرى» 30-ئىيۇن ، گوللاندىيە ھۆكۈمىتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئېكسپورتىنى كونترول قىلىش توغرىسىدا ئەڭ يېڭى بەلگىلىمە چىقاردى ، بەزى تاراتقۇلار بۇنى جۇڭگوغا قارىتىلغان فوتوگرافىيەنى كونترول قىلىش بارلىق DUV غا كېڭەيدى دەپ چۈشەندۈردى.ئەمەلىيەتتە ، بۇ يېڭى ئېكسپورتنى كونترول قىلىش بەلگىلىمىسى ئىلغار ALD ئاتوم چۆكۈش ئۈسكۈنىسى ، يەر تەۋرەش ئۆسۈش ئۈسكۈنىسى ، پلازما چۆكۈش ئۈسكۈنىسى ۋە چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە سىستېمىسى ، شۇنداقلا ئىشلىتىلگەن تېخنىكا ، يۇمشاق دېتال قاتارلىق ئۆزەك ياساش تېخنىكىسىنىڭ 45nm ۋە ئۇنىڭدىن تۆۋەن تېخنىكىسىنى نىشان قىلىدۇ. بۇنداق ئىلغار ئۈسكۈنىلەرنى ئىشلىتىش ۋە تەرەققىي قىلدۇرۇش.

ASML تىبكوغا بەرگەن باياناتىدا ، گوللاندىيە ھۆكۈمىتىنىڭ يېڭى ئېكسپورتنى كونترول قىلىش بەلگىلىمىسىنىڭ پەقەت ئەڭ يېڭى DUV تىپلىرىنىلا ئۆز ئىچىگە ئالىدىغانلىقىنى ، بۇنىڭ ئىچىدە TWINSCAN NXT: 2000i ۋە ئۇنىڭدىن كېيىنكى چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە سىستېمىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدىغانلىقىنى تەكىتلىدى.EUV تاش مەتبەئە ئىلگىرى چەكلەنگەن ، باشقا سىستېمىلارنىڭ توشۇلۇشى گوللاندىيە ھۆكۈمىتى تەرىپىدىن كونترول قىلىنمىغان.ASML ئورگان تور بېتىنىڭ ئۇچۇرىغا قارىغاندا ، DUV چۆمۈلدۈرۈش تاش مەتبەئە سىستېمىسى ، مەسىلەن: TWINSCAN NXT: 2050i ، NXT: 2050i ، NXT: 1980Di ئۈچ تاش مەتبەئە ماشىنىسى ، بۇلار 38nm ~ 45nm لىق جەرياننى بىر تەرەپ قىلالايدۇ.

 

بۇنىڭدىن باشقا ، 45nm دىن يۇقىرى ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەش ئىقتىدارىغا ئىگە قۇرۇق DUV تاش مەتبەئە ماشىنىلىرى ، مەسىلەن 65nm ~ 220nm جەريان ، مەسىلەن TWINSCAN XT: 400L ، XT: 1460K ، NXT: 870 قاتارلىقلار.

تىبكو تەرجىمە قىلغان گوللاندىيە كونترول تىزىملىكى تۆۋەندىكىچە:

گوللاندىيە تاشقى سودا ۋە تەرەققىيات مىنىستىرلىكى تارقاتقان MinBuza.2023.15246-27 بەلگىلىمىسىدە 2021/821 نومۇرلۇق بەلگىلىمىنىڭ 1-قوشۇمچە ھۆججىتىدە ئىلگىرى تىلغا ئېلىنمىغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنى ئېكسپورت قىلىش ئىجازەتنامىسى تەلەپ قىلىنغان (ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچكە مۇناسىۋەتلىك) ياساش ئۈسكۈنىلىرى)

2-ماددا: بۇ بەلگىلىمە مىنىستىرنىڭ رۇخسىتىسىز گوللاندىيەدىن ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنى ئېكسپورت قىلىشنى چەكلەيدۇ.

3-ماددا:

1. 2-ماددىدا كۆرسىتىلگەن ئىجازەتنامىنى ئىلتىماس قىلغۇچى ئېكسپورت قىلغۇچى تەرىپىدىن ئوتتۇرىغا قويۇلۇپ ، تەپتىش مەھكىمىسىگە يوللىنىدۇ.

2. قانداقلا بولمىسۇن ، ئىلتىماس تۆۋەندىكى مەزمۇنلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:

） ئېكسپورت قىلغۇچىنىڭ ئىسمى ۋە ئادرېسى ؛

b advanced ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنى تاپشۇرۇۋالغۇچى ۋە ئاخىرقى ئىشلەتكۈچىنىڭ ئىسمى ۋە ئادرېسى

c advanced ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنى تاپشۇرۇۋالغۇچى ۋە ئاخىرقى ئىشلەتكۈچىنىڭ ئىسمى ۋە ئادرېسى.

3 ، قانداقلا بولمىسۇن ، ئەيىبلىگۈچى ئېكسپورت قىلغۇچىدىن ئېكسپورت توختامى ۋە ئاخىرقى ئىشلىتىش توغرىسىدىكى باياننى تەمىنلەشنى تەلەپ قىلىشقا ھوقۇقلۇق.

4-ماددا:

2-ماددىدا كۆرسىتىلگەن ئىجازەتنامە شەرت ۋە بەلگىلىمە بويىچە بولىدۇ.

2-ماددىدا كۆرسىتىلگەن ئىجازەتنامىنىڭ لاياقەتلىك بولۇشى مۇمكىن.

5-ماددا:

2-ماددىدا كۆرسىتىلگەن ئىجازەتنامە تۆۋەندىكى ئەھۋاللاردا بىكار قىلىنسا بولىدۇ:

a) ئىجازەتنامە خاتا ياكى تولۇق بولمىغان ئۇچۇرلارغا ئاساسەن تارقىتىلغان.

ب) ئىجازەتنامىنىڭ شەرتى ، شەرتى ۋە چەكلىمىسى ئىجرا قىلىنمىغان

c) دۆلەتنىڭ تاشقى ۋە بىخەتەرلىك سىياسىتىدىكى سەۋەبلەر تۈپەيلىدىن.